C3　／　各向異性薄膜殘留應力量測系統之研製

林采薇, 田春林 逢甲大學電機系

本研究以MATLAB 為軟體開發平台，結合一個改良式的Twyman- Green干涉儀，建構一套以快速傅立葉轉換量測各向異性薄膜殘留應力的系統。本系統特色在於擷取干涉影像後，經由MATLAB多元的Toolbox功能，達到以快速傅立葉轉換（FFT）還原薄膜3D表面輪廓的目的。此系統可藉由量測待測物鍍膜前後不同軸向曲率之變化，以測定各向異性殘留應力。